Abstract
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- Title
- 多晶/非晶矽屏蔽奈米結構應用於氮化鎵磊晶驗證之強化矽基板
- Translated title
- 多晶/非晶矽屏蔽奈米結構應用於氮化鎵磊晶驗證之強化矽基板
- Creators
- 曹凱揚
- Contributors
- 葉哲良 (Advisor)
- Awarding Institution
- 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Thesis
- Date published
- 2017