Abstract
本論文主要目的是為了設計出主要是研究高功率微波傳輸系統，應用於電漿機台，以增進電漿解離度與均勻度。並利用間接式，先將電磁場能量偶合入微波共振腔中，進行電磁場分析及可行性評估。 對微波電漿系統，要產生均勻電漿必先建立均勻的電磁場。本論文的重點課題在於利用清華大學物理系高頻電磁實驗室多年來的研究能量，發展大面積且均勻之電磁波，用來激發電漿，以期產生均勻的電漿源並應用於各種工業電漿製程。 本論文是利用 HFSS ( High Frequency Structure Simulator ) 模擬軟體來模擬和優化分波器 ( Power Divider ) 及模式耦合器 ( Mode Converter ) 的結構，試圖利用多點登陸的原理，將多個圓形極化模 TE11 打入一大面積的電漿源，以其達成更佳均勻的目的；未來還可運用在材料處理方面，處理大面積的材料，以達均勻加熱的價值。