Abstract
超導的研究一開始是由金屬超導體開始，直到1986年才有高溫超導體的發現，然而金屬超導體的原理是由強連結所組成，氧化物超導則是由弱連結所產生，使用同質雙磊晶製作Josephson Junction，若其夾角為45o則其臨界電流為最小值，所以我們在介面上製作zig-zag，希望可以得到與一般直線的晶界結更大的臨界電流。我們利用 DC sputter 在YSZ[100]的基板上成長YBCO高溫超導薄膜，並且利用由於在不同溫度的成長YBCO薄膜與YSZ[100]基板的相對軸度會有所不同，由實驗中我們得知 810℃ 成長的YBCO薄膜是[100] 與YSZ[100]基版同向（0度），而680℃所成長的YBCO薄膜則是[110]與YSZ[100]基版則是夾45°我們利用不同軸度的YBCO薄膜來製作 Josephson Junction，我們先在YSZ[100]基版上，810℃的溫度成長厚度為500 的YBCO 緩衝層，再利用離子蝕刻機將緩衝層吃去一半，並利用電子束微影，在剩餘一半的YBCO緩衝層上，寫出我們所需要的Zig-zag，之後在鍍上約1500 680℃的低溫YBCO薄膜，然後再利用黃光微影將多餘的導通部份蝕刻掉，只留下有Zig-zag的部份。然而在緩衝層上的YBCO薄膜則是維持與YSZ平行的角度，而沒有緩衝層的部份則會產生與YSZ[100] 45°的夾角的YBCO[110]薄膜。我們可以得到45°的Zig-zag Josephson Junction。我們可以從實驗結果可得知一般的45° Josephson Junction 其臨界電流大約 ，而有Zig-zag的Josephson Junction 其臨界電流卻只有一般的Josephson Junction小。 並可以量到其Fraunhofer-pattern的變化。