Abstract
本研究旨在探討，奈米顆粒於奈微米流道中的運動，並分析如奈米顆粒尺寸、數目、微流道幾何尺寸、奈米通道尺寸等，對於奈米顆粒通過奈米通道的比率影響。在模擬方面，分別以Eulerian Coordinate來計算流體的守衡方程式、以Lagrangian Coordinate來計算顆粒在流體中的移動，並探討布朗運動(Brownian motion)對於奈米顆粒在流道內運動的影響。在實驗方面，以微機電製程中的反應式離子電漿蝕刻與表面氧電漿處理製作微流道晶片，於高速攝影機下觀察奈微顆粒在流道中的運動情形並與模擬結果做比較。