Abstract
由於台幣升值，勞資糾紛等問題均迫使我國工業必需升級，否則無以在國際上競爭。而工業升級的首要條件就是”品質”。現今我國工業對品質只做到”檢驗”的工作，也就是將產品區分成良品及不良品，並無法有效地掌握到變異的原因，更無法加以改善。所以本研究希望能藉著介紹田口方法來提昇工業界對品質的觀念。本研究以改善A 電子公司之製程為研究實例，希望能找出製程參數與電性參數之間的關係，可作為製程師改善製程的參考，或是深入研究的依據。本研究利用實驗計劃法對A 公司之製程加以研究，首先找出六個相關的製程參數P-w-ell Implant ，P-well diffusion ，N-well Implant，Base Oxisation,Vt Impla-nt 及Gate Oxidation ，再依其製程情況選定水準數，而後下晶片實地做實驗。利用統計方法對實驗。利用統計方法對實驗資料加以有系統的分析，得到四個關係函數如下：１VTo＝３２．０９５５４９－２３１６１１８６X１－４．５３８４５X ２＋０．７３２１３２X ３＋３．９４３６５１X１ ＋３．１４４０７８X ２－０．５３９１７１X ２２Uo＝３０４．６５８０８７－４７０２４２１７４X １＋１０．２０２９０９X ３＋７．４４５４２７X １X ２３Nsub＝３．５７３７７６－２．８８９１８X ３＋１．４３２２X ３４Vmax＝２１．９３３４１１－６．３４１１４１X １－２．６８７０１４X ３＋０．７５２７１９X １X ２ Uo ，Nsub ，Vmax模式的解釋能力並不高，其主要原因是仍有晶片表面的缺陷，晶片表面的乾淨度，酸槽及爐管的乾淨度等因素影響，但此次實驗並未考慮進去。此四個模式所得之點估計及區間估計均能符合A 公司之規格，大致上，尚稱不錯。