Abstract
本研究目的在於建立一四分之一波長的射頻螺線型共振器電漿源，並探討其激發機制和特性分析。本研究已成功地架設螺線型共振器電漿源系統，以氬氣電漿為研究對象，本系統可激發高密度電漿（電漿密度可高達10的12次方每立方公分），操作氣壓範圍寬廣（0.1 mTorr至10 Torr）。在本系統中可觀測到azimuthal striations的現象，即氬氣電漿中放射出的光線強度有週期性調制的現象，這也暗示著系統操作在某些條件下對於均勻度會有一定的影響。實驗內容包括使用Langmuir probe量測電漿密度、電子溫度；使用dipole antenna量測系統軸心方向電磁場的分佈；使用光譜儀分析氬氣電漿中粒子的種類。此外將以上實驗結果與射頻功率及氣壓之間的關係進行分析與討論。