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小型系統級封裝之可靠度與散熱效能分析與設計
Thesis

小型系統級封裝之可靠度與散熱效能分析與設計

林全盛
Masters, 國立清華大學, 動力機械工程學系
2009

Abstract

系統級封裝 可靠度 覆晶晶片 數位影像相關法 網格生死生成技術 疲勞壽命 加速熱循環 超模型 類神經網路 製程應力 散熱效能 紅外線熱像儀
為滿足消費者對電子產品高效能、多功能性與及輕薄微小化等功能的需求,現今封裝技術正朝向高功率、高密度、低成本、可快速研發、可高度整合之系統級封裝(System in Package,SiP) 發展。系統級封裝主要係將多個不同功能晶片與被動元件組合於單一封裝結構上,以提昇單一封裝元件之效能。但在系統設計與整合下,封裝結構將更趨於複雜,且將多晶片整合於單一封裝內,此舉將大幅提昇此單一封裝之功率,加上系統級封裝朝小型化發展,勢必會使得此封裝之功率密度急遽增加,造成封裝內部產生局部高溫區以及所謂熱點,而衍生局部高熱應力問題,對晶片及相鄰元件如導線或接點直接造成損壞,或是於製程或是環境測試下受到循環載重而產生疲勞破壞,而影響此封裝元件之可靠度。 本文主要係針對一內含多顆覆晶(flip chip)及被動元件的小型平面式系統級封裝之散熱效能、錫球可靠度及封裝製程應力等進行分析與設計。為達成此一目標,本研究將採用商業有限單元軟體ANSYS® 對此封裝力學行為進行分析,分析模式上將使用三維有限單元模型。在錫球可靠度分析上,將假設此無鉛錫球為一具潛變與塑性特性之材料,以加速熱循環測試作為施載,找出最先破壞的錫球位置,並使用Coffin- Manson公式預測該錫球疲勞壽命。在系統級封裝散熱效能分析上,則考慮自然對流環境下,以晶片功率施載時封裝之熱傳導性質,以晶片熱阻值評估封裝散熱效能。在封裝製程應力分析上,本文將針對此封裝之主要製程步驟進行製程模擬,分析方法將採用三維非線性有限元素分析並搭配網格生死生成技術等。此數值分析模式之正確性將藉由相關力學與熱傳實驗及數據加以驗證,包含數位影像相關法進行翹曲量量測、熱電偶搭配紅外線熱像儀進行溫度量測、熱循環測試錫球可靠度數據以及比對電子顯微鏡進行實驗觀察破壞分析等。 在掌握封裝力學特性後,將進一步藉由參數化有限元素分析探討影響上述三類封裝力學特性的主要因子,以作為改善此封裝力學的基礎,所考慮之設計變數包含元件材料性質、幾何尺寸以及製程參數等等。最後以錫球可靠度為例,利用類神經網路法(artificial neural network,ANN)為本之超模型(metamodeling)最佳化法搭配二次序列規劃(sequential quadratic programming,SQP)進行此系統封裝模組於熱循環載重下錫球可靠度最佳化設計。

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