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工業用 CCD X-ray 影像系統的研製
Thesis

工業用 CCD X-ray 影像系統的研製

賴丁賜
Masters, National Tsing Hua University
1992

Abstract

CCD 螢光屏 X 光影像 偵測器 CCD Fluorescent screen X-ray image Detector
利用一室溫操作的工業用 CCD攝影機配合螢光屏、鏡頭、8 bits 影像擷取卡、個人電腦及類比螢幕的即時顯示 CCD X-ray 影像系統已建立並完成測試。系統採用的攝影機內 CCD 感測元尺寸為 □ (6.4×4.8mm*2),內含 600×500 pixels, 於感測元表面的感光靈敏度為 0.005lux。經利用一鎢靶 X光機測試, 結果顯示系統對比可辨識 0.1mm厚的塑膠帶 X-ray影像,解析度於系統聚焦一 7.2×7.2mm*2 螢光屏面時可達 16 Lp/mm。系統已可清晰顯示無數電子零件、IC板、銅鑄徽章及步進馬達內部結構與缺陷,甚至於塑膠外殼 IC內部 30um黃金線也可輕易辨識。與傳統 X-ray 底片及價昂價昂的 X-ray 影像系統相比, 研究顯示以價格低廉的工業用CCD攝影機配合螢光屏作為工業 X-ray 影像偵測應用將是另一可行方法。

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