Abstract
以低壓力化學治程法長成複品，在不同情況下( 改變雜法種類及數量) 以不同濕度氧化( 濕氧) 發覺重植入量單品矽＞重植入量複品矽＞未曾植入的複品矽＞微植入量的單品的.砷氧化速率＞硼氧化速率。
- Title
- 復晶矽的氧化研究
- Translated title
- 復晶矽的氧化研究
- Creators
- 李克恭 (Author)
- Contributors
- 黃瑞星陳建瑞 (Advisor)
- Awarding Institution
- National Tsing Hua University; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, National Tsing Hua University
- Resource Type
- Thesis
- Language
- English