Abstract
近年來，光學微機電(Optical MEMS)技術透過，利用半導體製程以及其他相關微機械加工製程技術，已發展出各式高精度、光學品質的光學元件，如透鏡、面鏡、光柵等，並配合上內建之微致動器，便可經由微機械元件對光直接進行調變，在光通訊領域極受矚目。透過光學微機電技術所建構之自由空間微光開關（Free-space optical switch），更是目前光通訊元件最關鍵的技術之一。本文將整合出平面(Out of plane)靜電式致動器，與準直的垂直面鏡(Vertical mirror)，提出新型之自由空間可動鏡面式微光開關設計，其切換機制由致動器帶動垂直面鏡以切換光訊號，將可避免目前元件所遭遇之相關議題如結構磨耗、疲勞、精密定位、以及鏡面準直度等，並透過MEMCAD與ANSYS模擬軟體，進行致動器可行性分析。