Abstract
本論文研究目前已經完成感應線圈的各種模擬計算，可以提供設計電感幾何參數的原則、當負載等效電路改變時電感共振現象的飄移及信號改變最明顯的點等等。之後再根據計算的結果，決定線圈的幾何結構和電感製作流程並解決製程過程中的顯影、去除光阻等問題完成線圈的製作。最後完成電感線圈的電性量測，如L值、電感與負載電容並聯時的Zin和相位與頻率關係和等效LCR值，觀察共振現象與fSR，並與理論值作分析比較，推測電性量測中導致量測值與理論值誤差的因素——製程品質的影響和量測時電路間的連接不良，使高頻的訊號大部分在電感電容與量測儀器連結處損耗。 目前有關線圈的製程流程與問題已解決，但是線圈電性的量測結果仍與模擬計算的結果的誤差範圍仍需要改進。若線圈間傳遞能量的問題解決，便要進行線圈與壓電材料的結合，讓電感的共振與壓電片能匹配，進而完成非接觸式的感應量測元件，達成最終安置在人體生醫方面的應用。