Abstract
近年來隨著科技的發展，人類對於能源的需求量越來越高，然而目前採用的傳統石化能源正面臨著使用殆盡的危機，因此能源價格不斷上昇。為了解決此一問題，許多不同形式的替代能源正廣泛的被研究，燃料電池正是相當具有潛力的替代方案之ㄧ。而在微型化的燃料電池中，直接甲醇燃料電池為目前最熱門的研究重點，其具有高能量密度，可使用於攜帶式行動裝置上，低污染等的優點。 本論文主要目的為結合微機電製程於微型直接甲醇燃料電池中，利用微機電製程於矽基材上製造出具有高表面積的燃料反應區結構，並於此微米級結構中成長奈米碳管做為燃料催化金屬之載體，以期能得到比一般平面電極高3到4個數量級的反應面積，根據計算，設計不同尺寸的微米級結構，在目前製程能力範圍內約可將反應表面積提高為平面電極之6倍，於本研究中，目前製作出之反應結構約可將反應面積提高至平面面積之1.5倍，而電化學甲醇催化之訊號比值亦顯現出接近之結果，平面最大值約為29.6 mA/cm2，結構電極最大峰電流密度為41.7 mA/cm2。在奈米碳管成長方面，具有黏著層(Fe4.5nm/Al 10nm)之奈米碳管其長度最高約達5.8um，Fe4.5nm/Si長度可達16.5 um，Ni10nm/Si長度可達13.9um。