Abstract
本研究設計之微型迴路式熱管（micro loop heat pipes）著重於將蒸發端與冷凝端分離，以增加兩者間之距離。此蒸發端之毛細結構為一組平行並列細長之V型溝槽，利用微機電（MEMS）技術製作，蒸發端與冷凝端間之連接管路為透明，以觀察工作流體在迴路內之輸送現象，並了解其運作狀態。由觀測可知，當以甲醇為工作流體（填充率為80﹪），並使用一具溫度梯度之平板加熱時，此迴路系統得以成功地循環達一分鐘，隨後因甲醇蒸氣洩漏而乾涸，乃停止運作。若採用等溫之加熱平板對全蒸發端或後半蒸發端加熱時，在完成循環前，蒸發端內之工作流體即已乾涸。本研究亦比較甲醇與水兩者不同工作流體，當以水為工作流體時，最微流道中明顯產生氣泡，阻礙水的傳輸，造成流道之阻塞，可能原因之一為真空度不足。另外，由於本實驗之迴路系統封裝採用epoxy黏合，在長時間運作下在玻璃與矽晶片接合處會產生洩漏，無法將工作流體完全密封著，因此整個迴路系統無法持續運作。