Abstract
利用自製微波電漿輔助有機金屬鹽化學分子束鍍膜系統 (PEMOCBD)，將先驅體粉末作預先混合，以氬氣為 carrier gas，以微波激發氧氣，製做釔鋇銅氧高溫超導薄膜。文中將探討電漿能量、基板溫度等參數對超導薄膜品質的影響。薄膜的特性分析著重於臨界溫度、表面形態、良使用微波激發氧氣產生電漿的系統，已可在氧化鎂基板上鍍出 Tc=89K 的釔鋇銅氧高溫超導薄膜，同時利用 X-ray 分析可得到 c 軸與 a、b 軸指向皆良好的磊晶薄膜。基板溫度對薄膜質影響甚鉅，690℃ 以上可鍍出 (00L) 優選指向超導膜，650℃ 時會有 (103) 面出現，而 623℃ 時則因溫度太低無法形成超導相。而 720℃ 所鍍出之膜 Tc 最高為 89K， 650℃ 鍍出之膜其 Tc 低於 77K。基板溫度亦會影響 in plane程度。720℃ 時 inplane 良好，基