Abstract
本論文旨在設計、製作、控制與檢測介電濕潤液珠驅動晶片，研究中使用之微液珠驅動晶片之介電層分別使用SU8 、FH6400光阻及Parylene C三種材料，並對驅動晶片架設接觸角檢測系統與液珠移動特性檢測系統。藉由此兩種檢測系統量測三種不同介電材料之個別介電濕潤特性曲線與特性，且決定在不同介電層材料下時液珠之控制電壓，完成一介電濕潤晶片實驗平台。 將LabView撰寫的控制程式、彈簧探針陣列與控制器電路整合成一微液珠控制系統，並將介電濕潤晶片實驗平台、微液珠控制系統與高速影像攝影機整合一模組化控制器。利用模組化控制器分析液珠移動的時間，並決定控制器的最佳切換頻率，成功完成液體在一維與二維方向的驅動。此外，提出新型複合式電極，以提升液珠的位移精度。未來本論文所發展的系統可應用於生醫檢測方面。