Abstract
在本研究中，微無邊界樑的共振特性已經予以充分的探討，並且透過分析與實驗的方式，觀察懸吊彈簧與製程參數變異對其共振頻率及模態的影響。基於此設計與分析的基礎透過體型微加工技術實際製作出微無邊界樑結構，量測出其共振頻率並與分析結果比較。除此之外，在應用方面，本研究利用微無邊界樑的共振頻率成功的萃取出薄膜的機械特性，同時與微懸臂樑的萃取結果做比較，在體型微加工時，因為製程的關係，微懸臂樑浸於蝕刻液中懸浮時存在著不可避免的缺點，其邊界條件將受底切效應影響甚至隨著蝕刻的時間變化，而微無邊界樑成功的解決此問題。 簡言之，本研究成功的驗證出微無邊界樑在長蝕刻時間下是一較好的微機電測試鍵，同時，在決定楊氏係數值時微無邊界樑可提供一個上邊界值而微懸臂樑可提供一個下邊界值。此外，微無邊界樑製造容易，製程相容性高，同時數學與物理模型廣為大眾所知的微結構，故可用以彌補微懸臂樑在萃取機械特性測試鍵上的不足。