Abstract
微機電系統乃是以半導體製程為平台，並結合了機械、電子、光學、材料等多種領域所發展出的新技術。在微機電元件製程中由於殘餘應力的影響，常造成結構出現不必要的變形，影響元件的性能，因此，量測應力數值作為製程參數的參考已有多人進行研究。本文將研究重心投注在微環形殘餘應力感測器的分析上，研究出平面方向變形對感測結果之影響，以改變元件尺寸的方式降低出平面變形的現象，進一步提高感測器量測的精確度。此外，本論文中提出一另類的設計，利用改變結構挫屈方向完全抑制垂直方向的變形。
- Title
- 微環形殘餘應力感測器出平面挫曲變形與拉伸應力感測之研究
- Translated title
- 微環形殘餘應力感測器出平面挫曲變形與拉伸應力感測之研究
- Creators
- 陳揚哲
- Contributors
- 陳榮順 (Advisor)
- Awarding Institution
- 國立清華大學, 動力機械工程學系; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, 國立清華大學, 動力機械工程學系
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Thesis
- Date published
- 2004