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微米級條紋式塗佈
Thesis

微米級條紋式塗佈

方聰偉
Masters, National Tsing Hua University
2002

Abstract

條紋式塗佈條紋式塗佈視窗彩色濾光片條紋式塗佈缺陷微米級條紋式塗佈夾片製作
塗佈技術發展至目前為止已算是相當成熟的技術,尤其以單層塗佈而言,相關的塗佈視窗及塗佈缺陷已有不少文獻被提出,而對於條紋式塗佈(Stripe Coating)的研究卻一直無相關的研究報告,故本研究將針對條紋式塗佈進行研究,建立完整之條紋式塗佈視窗(Coating window),同時更進一步將條紋微小化,未來希望能將條紋式塗佈技術應用於光電產業上,例如彩色濾光片的製做等,或其它相關高科技產業上。本論文中,首先設計條紋微小化之左右共擠壓式模具及夾片,並利用微機電系統與精密加工及化學蝕刻兩種方法製作兩個設計相同但材質不同之夾片,且進行一系列之測試來確認條紋微小化夾片設計之可行性,結果亦如預期般,在適當的夾片、模具及流量控制下,可以得到條紋微小化之塗膜。本研究之構想將可更進一步完成相關之塗佈視窗研究,又或完成ABCABC左右共擠壓式塗佈之研究。在條紋式塗佈視窗建立上,主要以甘油水溶液進行研究,除了重覆單層塗佈實驗外,也特別針對條紋式塗佈進行一系列實驗。對於單層塗佈,除了證明其再現性外,其缺陷的觀察亦可做為條紋式塗佈的參考,而實驗也發現幾個常見的塗佈缺陷,如垂流(Dripping)、水窪(Pool)、橫向波(Ribbing)及破裂線(Break Line)等,都會在條紋式塗佈中出現。結果顯示,在AB等流量時,條紋式塗佈視窗除了在小流量下與單層塗佈有差異外,其餘皆之相近;當AB流量比相差甚大時,條紋?度會因流量加大而變?,而塗佈視窗大小並不受流量比之影響;當AB兩流體黏度不同時,塗佈視窗大小受限於黏度較大之塗佈視窗。以上之實驗結果將有助於清楚了解流體物性對條紋式塗佈視窗之影響。

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