Abstract
在微機電系統中，以靜電原理做為致動或感測方式，甚至做為量測材料參數的方法的應用非常多，如扭轉鏡面、加速度計或用以量測材料之楊氏係數與殘餘應力等。在這些應用中，由於靜電力與結構變形耦合因素的影響，常使得元件無法在設計之初就達到最佳化，或甚至會造成感測結果或材料參數計算上的誤差。在以往的文獻中可以發現，大多數都是將結構視為不會變形的剛體，或是以有限元素分析法得到較準確的值，如此一來，可能會造成分析的不準確或困難。因此，本文針對結構與靜電耦合的效應，在受靜態負載時的形變預測，以及受到動態負載時的共振頻率偏移等，提出一些模型完整但簡便的分析方法，以提高分析上的準確度與方便性。