Abstract
摘要 由於某些聲波感測器可以應用在黏性液體中的量測，使我們推想是否可以使用於充滿組織液、血液、肌肉細胞或骨頭細胞的人體組織癒合狀態的量測。利用Micro Electrical Mechanical System(MEMS)微加工技術除了可以達到大量製造和降低成本的優點，且可縮小元件的尺寸，使感測器可以置於較小的部位作量量測，如牙齒，大腿骨等、、。 本研究主要是利用微機電技術中的thin film micromachining，藉由蒸鍍、微影、蝕刻等製成技術做出IDT結構於ST-cut的石英上，之後將元件接上射頻網路分析儀做訊號的輸入與輸出量測。本研究的設計經過詳細的計算得到其工作頻率範圍在19MHz∼25MHz之間，目前已經完成對不同物質的訊號量測（空氣、水、酒精、甘油）以及不同黏度、密度、 溫度的訊號量測，除此之外，我們對不同設計的元件做測試，一種則是固定兩電極組間寬度改變電極對數，一種是固定電極對數改變兩電極組間寬度。最後，我們對細胞生長時的訊號變動做量測。目前已完成元件的尺寸大小為4mm×10mm×500um，元件中的最小線寬為40 um。