Abstract
本論文以１，３－Bis（ｒ－aminopropyl）tetramethyl disiloxane、Oxydianiline二種二胺與３，３’，４，４’－Benzophenone tetracarboxylic dianhydride二酸酐,在溶劑N－methy１－２－pyrrolidone中聚合，經熱亞醯胺化後，可得到聚亞醯胺矽氧烷（Polyimide Siloxane）共聚物。實驗結果顯示，由於１，３－Bis(ｒ－aminoprpy１）tetramethyldisiloxane之加入，聚亞醯胺矽氧烷與矽晶片之黏著性大為改善，其含量只要達１０％，即可有優於使用黏著促進劑的效果，而且仍保有相當的機械性質及熱安定性。使用２－Isocyanatoethy１ methacrylate 為感光基，其異氰酸酯基在室溫下即可藉催化劑的幫助而與聚醯胺酸矽氧烷的羧酸基反應，所得的感光性聚亞醯胺矽氧烷前驅體（Photosensitive Polyimide Siloxane Precusor）保存期限長。實驗結果顯示，經曝光交連後，感光性聚亞醯胺矽氧烷前驅體熱亞醯胺化較困難，需要延長加熱時間或升高亞醯胺化之溫度。