Abstract
本研究期望能將光阻與機械可剝式保護膜結合在一起，希望將光阻在微影製成的應用，發展到可剝式保護膜上面，形成一種新的機械可剝式保護膜，所以合成一種能夠含有酸根且具有提高感光性的樹脂是必要的。 在本實驗中，選用了MMA、MAA、SM以及HEMA來合成copolymer，接著加入GMA做接枝反應，使其成為有反應性官能基及鹼可顯影性，使用核磁共振光譜(1H-NMR)與紅外線光譜(FT-IR)鑑定其化學結構，以及凝膠層析儀(GPC)測得高分子的平均分子量，再做微影製程，可達到10μm以上的解析能力。 接著將resin與可剝材料結合在一起，嘗試過幾種配方，最後添加了670A2(具有六個反應性官能基的oligomer)有最佳的相容性與解像能力，其解析度可達到3mil以上。而在剝離方面，H11/59的氯乙烯和乙酸乙烯酯的共聚物對我們的系統有較好的相容性，達到完全剝離的情況且無殘留。 根據以上的結論，將光阻劑與可剝材料的結合，形成具有感光性鹼可顯影型的可剝膠是可行的，我們已經找出它的雛型。