Abstract
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- Title
- 感應耦合電漿輔助化學氣相沉積石墨烯輔助奈米銅內連線之電性研究與分析
- Translated title
- 感應耦合電漿輔助化學氣相沉積石墨烯輔助奈米銅內連線之電性研究與分析
- Creators
- 林宗儒
- Contributors
- 邱博文 (Advisor)
- Awarding Institution
- 國立清華大學, 電子工程研究所; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, 國立清華大學, 電子工程研究所
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Thesis
- Date published
- 2017