Abstract
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- Title
- 應用於先進鰭式電晶體邏輯製程之新型電漿充電損害記錄元件暨電荷分離記錄特性之研究
- Translated title
- 應用於先進鰭式電晶體邏輯製程之新型電漿充電損害記錄元件暨電荷分離記錄特性之研究
- Creators
- 謝定寰
- Contributors
- 金雅琴 (Advisor)
- Awarding Institution
- 國立清華大學, 電子工程研究所; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, 國立清華大學, 電子工程研究所
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Thesis
- Date published
- 2017