應用於懸浮微粒感測之高傳感效率 CMOS-MEMS 熱致動壓阻感測振盪器設計

Thesis

應用於懸浮微粒感測之高傳感效率 CMOS-MEMS 熱致動壓阻感測振盪器設計

劉廷淵

Masters, 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所

2016

Abstract

高Q值

熱致動壓阻感測

CMOS-MEMS

振盪器

高良率製程

相位雜訊

低元件操作溫度

質量感測器

懸浮微粒感測器

High quality factor

CMOS-MEMS

Oscillators

High fabrication yield

Phase noise

Low operating temperature

Mass sensor

Aerosol sensor

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Details

Title: 應用於懸浮微粒感測之高傳感效率 CMOS-MEMS 熱致動壓阻感測振盪器設計
Translated title: 應用於懸浮微粒感測之高傳感效率 CMOS-MEMS 熱致動壓阻感測振盪器設計
Creators: 劉廷淵
Contributors: 李昇憲 (Advisor)
Awarding Institution: 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所; Masters
Theses and Dissertations: Masters, 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所
Language: Traditional Chinese
Resource Type: Thesis
Date published: 2017