應用於質量與懸浮微粒感測之單晶矽熱致動壓阻感測式微機械振盪器研製

Thesis

應用於質量與懸浮微粒感測之單晶矽熱致動壓阻感測式微機械振盪器研製

朱家君

Masters, 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所

2016

Abstract

高Q值

熱致動壓阻感測

SOI

振盪器

高良率製程

相位雜訊

低元件操作溫度

質量感測器

懸浮微粒感測器

High quality factor

SOI

Oscillators

Low fabrication constraints

Phase noise

Low device operating temperature

Mass sensor

Aerosol sensor

因申請專利緣故，資料延後公開

Related links

Metrics

1 Record Views

Details

Title: 應用於質量與懸浮微粒感測之單晶矽熱致動壓阻感測式微機械振盪器研製
Translated title: 應用於質量與懸浮微粒感測之單晶矽熱致動壓阻感測式微機械振盪器研製
Creators: 朱家君
Contributors: 李昇憲 (Advisor)
Awarding Institution: 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所; Masters
Theses and Dissertations: Masters, 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所
Language: Traditional Chinese
Resource Type: Thesis
Date published: 2016