Abstract
本論文試著利用奈米壓印技術(Nanoimprint Technology)，在藍寶石(Sapphire)基板上壓印出晶格排列的圖案，針對熱壓式奈米壓印技術中模具的製作過程，以及實際奈米壓印的結果加以探討。我們使用國家奈米元件實驗室(National Nano Device Laboratories)的設施，先以L-edit軟體將尺寸、形狀繪製好，再利用Leica E-beam電子束直寫系統曝光匯出圖案，進而使用變壓器耦合型電漿(Transformer Coupled plasma)蝕刻樣本，並利用數值統計分析其曝光與蝕刻結果，最後再將模具清洗鍍上一層脫模劑後隨即完成模具製備。接著討論壓印後的結果並調整製程參數如：時間、壓力與溫度，最後檢討模具與實驗中的各項缺失。