應用虛擬量測系統於半導體製程錯誤診斷

Thesis

應用虛擬量測系統於半導體製程錯誤診斷

林宗儀

Masters, 國立清華大學, 動力機械工程學系

2016

Abstract

虛擬量測系統

錯誤診斷模型

K折交叉驗證法

Holdout驗證法

SMOTETomek法

Virtual Metrology System

Fault Detection Model

K-Fold Cross Validation

Holdout method

SMOTETomek method

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Details

Title: 應用虛擬量測系統於半導體製程錯誤診斷
Translated title: 應用虛擬量測系統於半導體製程錯誤診斷
Creators: 林宗儀
Contributors: 陳榮順 (Advisor)
Awarding Institution: 國立清華大學, 動力機械工程學系; Masters
Theses and Dissertations: Masters, 國立清華大學, 動力機械工程學系
Language: Traditional Chinese
Resource Type: Thesis
Date published: 2017