Abstract
在微機電系統中，由於製程上的誤差或是溫度、氣候等外界不確定因素的影響，導致元件性能往往不如預期所設計，因此就必須由回授控制來確保或增進其性能。 本論文以微光機電系統中最常用的元件之一微掃瞄鏡作為回授控制的對象。驅動方面是採用靜電驅動，感測方面是藉著量測微掃瞄鏡下方兩電極板間的電容差，由電容差而知道微掃瞄鏡目前的角度，再經由控制器決定輸出到微掃瞄鏡的訊號。本文的目是希望藉由迴授控制使微掃瞄鏡有精準的角度定位。
- Title
- 扭轉式微掃瞄鏡感測與驅動之設計與實作
- Translated title
- 扭轉式微掃瞄鏡感測與驅動之設計與實作
- Creators
- 王繹智 (Author)
- Contributors
- 陳榮順 (Advisor)
- Awarding Institution
- National Tsing Hua University; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, National Tsing Hua University
- Resource Type
- Thesis
- Date published
- 2003
- Language
- English