Abstract
本論文研究，以建立SCM於自由載子二維分佈量測分析之技術及其應用為目的，並發展平面掃描分析技術，建立一簡便可行之自由載子橫向分佈量測分析方法。藉量測微分電容訊號輪廓，探討佈植於靶材內的摻雜元素，經快速熱退火處理後的擴散行為，及其所產生自由載子濃度分佈情形。同時，在適當的退火條件下，藉由分析自由載子濃度變化造成的SCM微分電容訊號改變，探討佈植區內摻雜元素的活化行為。並深入討論各退火製程對摻雜元素的活化、擴散行為，及其所產生的自由載子濃度分佈的影響。
- Title
- 掃描電容顯微鏡於摻雜元素二維分佈量測分析技術之建立與研究
- Translated title
- 掃描電容顯微鏡於摻雜元素二維分佈量測分析技術之建立與研究
- Creators
- 鄧德華 (Author)
- Contributors
- 梁正宏 (Advisor)
- Awarding Institution
- National Tsing Hua University; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, National Tsing Hua University
- Resource Type
- Thesis
- Date published
- 2002
- Language
- English