Abstract
掃瞄式探針顯微鏡製作矽的奈米結構是一個新的嘗試，在本論文中將詳細的介紹如何利用原子力顯微鏡（AFM）製作氧化矽的結構，此外再配合矽(110)表面對KOH溶液不等向性蝕刻的特性，製作出精良的矽一維與二維奈米結構。而藉由此成功的經驗，相信應可提供製作奈米結構之另一可行的方向，以期對矽奈米結構作更廣泛的研究。
- Title
- 掃瞄探針微影術製作矽(110)奈米結構之研究
- Translated title
- 掃瞄探針微影術製作矽(110)奈米結構之研究
- Creators
- 吳忠霖
- Contributors
- 果尚志 (Advisor)
- Awarding Institution
- 國立清華大學, 物理系; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, 國立清華大學, 物理系
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Thesis