Abstract
本實驗的目的是探討多孔矽基板多碳管成長的影響，利用多孔矽基板的結構來幫助碳管在多碳源環境與成長溫度較低的環境成長相對於平面矽基板，並討論奈米碳管在多孔矽基板上的可能的成長機制與不同催化金屬厚度對多孔矽基板的影響。由實驗中的SEM的照片中可以明顯的觀察到，在平面的矽基板跟多孔矽基板上經由改變碳源氣體/氨氣的混合比例與成長溫度時都有明顯的差異，進而探討多孔矽基板對於奈米碳管的影響。
- Title
- 探討奈米碳管在多孔矽基板上的成長
- Translated title
- 探討奈米碳管在多孔矽基板上的成長
- Creators
- 廖廷修 (Author)
- Contributors
- 蔡春鴻博士 (Advisor)
- Awarding Institution
- National Tsing Hua University; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, National Tsing Hua University
- Resource Type
- Thesis
- Language
- English