Abstract
本論文主要在探討(Bi,Nd)4Ti3O12鐵電薄膜優選指向的控制。藉由各種不同的製程條件與熱處理溫度，以溶凝膠旋附鍍膜法製備分別具有（001）、（117）與（200）優選指向之BNT鐵電薄膜，並探討在不同優選指向上，電性方面的表現。 實驗結果發現，當薄膜組成為Bi3.25Nd0.75Ti3O12時，除了熱處理溫度外，熱處理時間長短在薄膜優選指向控制方面亦站相當重要的影響。而（117）優選指向因較靠近薄膜的最大極化方向，因此具有比（001）優選指向更好的鐵電性質；但在I-V曲線的表現方面，則顯示（117）優選指向具有較大的漏電流。 當薄膜組成為Bi3.5Nd0.5Ti3O12，並分別探討其熱處理溫度及薄膜厚度的影響則發現，隨著熱處理溫度的升高，（117）指向晶粒在薄膜中所佔的比例亦隨之提高；在製程溫度相同的情況下，隨著薄膜厚度的增加，則薄膜將轉變成（200）優選指向。 由以上的敘述可知，本實驗已經可以成功的控制BNT鐵電薄膜內的（001）、（117）與（200）優選指向，且（200）優選指向至今在各類研究文獻中尚無法以磊晶以外的方式製備。