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改良電子光斑測量術之理論與實驗探討
Thesis

改良電子光斑測量術之理論與實驗探討

許宗偉
Masters, 國立清華大學, 動力機械工程學系
1999

Abstract

快速傅利葉轉換 振幅變動電子光斑影像干涉術 改良振幅變動電子光斑測量術 改變標稱推動力層次法電子剪切光斑干涉術
本研究首先採取由靜態電子光斑影像干涉術所得影像來驗證以快速傅利葉轉換低通濾波的方法將影像中所存在光斑項加以濾除,爾後始分為兩部分。第一部份是運用此方法分別將傳統動態電子光斑影像干涉術以及振幅變動電子光斑影像干涉術實驗所得影像之灰度值加以比對,而得到振幅變動電子光斑影像干涉術條紋之意義,並加以驗證改良振幅變動電子光斑影像干涉術之理論。 第二部分則同樣採用前述快速傅利葉轉換低通濾波的方法將電子剪切光斑干涉術所得影像灰度值之光斑項濾除,藉以觀察由改變標稱推動力層次法之電子剪切光斑干涉術實驗所得之影像灰度值分佈與理論之差異。

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