Abstract
本文建立一種數位式氣壓伺服控制系統，以8 位元單晶微算機做為控制器，線性光學尺做為位置回授裝置，利用單級空氣伺服閥(single-stage pnevmatic servevalve)，控置氣壓缸位置。氣壓伺服系統在分析上的困難是曲述系統的方程式具有非性之特性，而線性化的傳遞函數之參數隨著活塞之位置火同會有很大之變，因此本文採用可變結構之控制方法，此理論是利用轉換平面(switching plane) ，當代表點穿過轉換平面時，改變系統結構，使其延著轉換平面滑至原點。本文以二階方程式做為轉換面，控制程式以組合語言撰寫，執行時間約388 微秒，實驗結果顯示系統反應確能受到轉換面之控制，而對外界干擾及參數變動之影響具顯著減低之效果。此外，位置之精確度穩定地維持在5 微米以內因此，本文系統堪稱為一實用之氣壓伺服控制系統。