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新型不對稱二價銅錯合物之合成、自身排列聚合反應研究,與其在金屬有機化學氣相沉積上的應用
Thesis

新型不對稱二價銅錯合物之合成、自身排列聚合反應研究,與其在金屬有機化學氣相沉積上的應用

張哲豪
Masters, 國立清華大學, 化學系
2000

Abstract

金屬有機化學氣相沉積 自身排列 MOCVD self-assembly
本篇論文為研究一系列含4-胺基-1,1,1,5,5,5-六氟-3-烯-2-戊酮三牙配位基和含2-胺基甲基-1,1,1,3,3,3-六氟-2-丙醇三牙配位基之不對稱銅金屬錯合物的合成、性質探討,與其在金屬有機化學氣相沉積的應用。我們將氯架橋含三牙基之銅聚合物與配位基之納鹽反應,可得到一系列具有高揮發性且在空氣下穩定的不對稱錯合物,而這些錯合物的特性,如熱物理性質、電子順磁共振光譜,及其x-光繞射結構,皆詳述於論文中。 文中亦成功運用自身排列反應,合成一系列高產率的特殊巨分子,如錯合物2k、2l,皆為反鐵磁性物質,並探討其巨分子特殊結構排列的原因,和其結構對磁性的影響。 最後選取錯合物2j、2n作為化學氣相沉積前趨物,以熱壁式化學氣相沉積的裝置在矽和蝕刻出孔洞的二氧化矽基材上沉積銅薄膜,可得到純度不錯的銅薄膜,並探討影響薄膜純度、表面形貌,和電性表現的原因。

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