Abstract
本篇論文在闡述四種含金屬鋨錯合物的合成及其在有機金屬化學氣相沉積上的應用。前段部分我們對金屬鋨的基本性質及特性做了簡短的介紹，繼而引入化學氣相沉積這個主題，讓讀者對化學氣象沉積有了更進一步的認識，接著討論金屬鋨的應用性及回顧文獻中鋨金屬薄膜相關的製備及前驅物的選用；而在實驗部分，先介紹分析儀器及鑑定薄膜純度、電性、微結構等所使用的電子能譜儀、四點探針及掃描式電子顯微鏡。再來，對錯合物的合成步驟加以敘述，特殊的結構予以詳細解說，並討論錯合物的特殊物理化學性質，進而利用冷壁式的化學氣相沉積系統沉積鋨金屬薄膜，針對薄膜的成長行為、微結構(microstructure)、位向優選性和電性、純度等性質做深入的探討。