Abstract
本篇論文在闡述六種含金屬釕錯合物的合成及其在有機金屬化學氣相沉積上的應用。首先我們對金屬釕的基本性質及特性做了簡短的介紹，接著討論金屬釕的應用性及回顧文獻中釕金屬薄膜相關的製備及前驅物的選用；而在實驗部分，第一部分為釕金屬錯合物的合成步驟，我們詳盡敘述各化合物的合成方法、分子單晶結構解析以及物理性質，並對同系列錯化合物的性質加以比較。第二部分著重在鍍膜實驗上，我們利用冷壁式化學氣相沉積系統製備金屬釕與二氧化釕薄膜，並針對此兩種薄膜的成長行為、微結構 (morphology)、位向優選性、電性和純度等性質做深入的探討。