Abstract
本篇論文為研究新型鋅與鎘金屬錯合物的合成、性質探討與其在化學氣相沈積的應用。我們合成六氟戊二酮亞胺類化合物1六氟醇胺類化合物2，將此二種化合物製成鹽類與氯化鋅氯化鎘反應，可得到具揮發性且在室溫環境下穩定的錯合物3、4、5、6，這些錯合物的性質將再本論文中一一討論。 我們將這些錯合物作為化學氣相沈積的前驅物，以熱壁式反應器在矽基板(Si(100))上沈積氧化鋅或氧化鎘的薄膜，所有薄膜皆由化學能譜儀、掃描式電子顯微鏡和粉末繞射儀進行分析與鑑定，並在本論文中討論其結果。
- Title
- 新型鋅與鎘金屬錯合物的合成及其在化學氣相沈積的應用研究
- Translated title
- 新型鋅與鎘金屬錯合物的合成及其在化學氣相沈積的應用研究
- Creators
- 張永昌
- Contributors
- 季昀 (Advisor)
- Awarding Institution
- 國立清華大學, 化學系; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, 國立清華大學, 化學系
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Thesis
- Date published
- 2004