Abstract
本研究以國內某大型晶圓製造廠之自動化物料搬運系統(Automated Material Handling System, AMHS)為研究對象，於面對生產型態之差異而衍生出搬運與生產績效問題，嘗試分析、規劃自動化物料搬運系統。利用eM-Plant物件導向模擬軟體及Design-Expert實驗分析軟體，評估合適之自動化物料搬運系統，以作為晶圓廠規劃之參考。首先，本研究以某晶圓廠之實際黃光區為對象，分析、瞭解黃光區之生產與搬運行為後，發現黃光區特殊之設施規劃與晶舟搬運問題。並以機台角度為出發點思考，提出「Push & Pull(PP)派車法則」運用於黃光區Intrabay系統，經模擬實驗分析結果顯示，對於生產與搬運績效有顯著提升。除降低系統在製品與減少晶舟週期時間之生產績效外，也減少無謂的搬運任務，提高機台至機台(tool to tool)的傳送機會，進一步減少晶舟進出倉儲的次數，使倉儲有效降低在製品，減少設置倉儲容量之成本。第二部份，以爐管區為研究對象，分析後發現爐管區之高溫爐管機台具有批量生產之特性，產生多批量搬運需求，對於自動化物料搬運系統造成瞬間衝擊。並以晶舟與搬運車同步概念延伸預派搬運車而提出「搬運車預派數量法則」。探討搬運車數量、集批數量與預派數量之間對生產與搬運績效之影響狀況。經模擬實驗分析結果顯示，爐管機台中內部暫存區(Internal Buffer)機制，提供搬運系統相當之緩衝時間，造成搬運系統與搬運資源的優劣對於生產績效影響不大。而生產績效會由晶舟投入量與集批數量而產生影響，當晶舟投入量越大，較高之集批數量可提高產出量。此外，整批晶舟搬運時間則隨搬運車數量的增加，有效減少整批晶舟搬運時間，晶舟也可以快速離開爐管區至別區域加工，而降低晶舟週期時間。評估晶圓廠優劣以生產績效為最重要考量因素。因此，本研究在探討自動化物料搬運系統之問題時，並不僅僅只分析搬運績效的效益，更進一步分析對於生產績效所帶來的效益，期望確認進行自動化物料搬運系統之改善後，除對於搬運績效有提升外，能否直接對於生產績效有提升作用。