Abstract
在晶圓廠機台控制系統負責向上與製造執行系統溝通，向下控制機台進行生產，卻常常會因為生產的需要、所控制機台的改變與機台本身軟體更新需要修改控制命令與參數，而需要更改機台控制程式，由於繁複控制程式需要重新撰寫，造成機台生產作業與程式維護上的極大不便；所以機台控制系統必須確保系統可以具備延伸的(Extensibility)、彈性的(Flexibility)與可組態的(Configuration)特性，才能符合晶圓生產的需要。 機台控制系統可分成控制資源、執行單元與控制邏輯，透過將控制資源的訊息予以標準化可以簡化訊息的收送；而可組態的進行訊息處理、任務控制與路徑選擇，可以達到彈性的邏輯控制；可組態的控制邏輯是的是對機台的任務執行處理作業予以元件化，再透過事先定義的邏輯來控制設備進行生產，當需要更改機台生產時的控制順序，經過修改定義的控制邏輯即可進行所需要的生產控制順序。 本研究將可組態的控制邏輯導入半導體機台連線自動化系統中，並將發展程序分成需求分析、規格設計以及系統構建三階段，並以UML的模式語言來表示，在需求分析階段利用使用案例、結構分析以及行為分析說明系統的需要，在規劃設計階段參考設備驅動程式樣板與控制邏輯設計樣板，而得到行為塑模與結構塑模的功能設計，最後在建構階段完成機台控制系統的功能設計。 並以虛擬半導體的Internal Buffer機台的機台控制系統作為程序發展之範例說明與驗證可組態之控制邏輯的可行性。