Abstract
本研究以國內某12吋晶圓製造廠之自動化物料搬運系統(AMHS)為對象，探討interbay與intrabay系統軌道直接整合的環境下，搬運車的管理及其運作策略問題。其中提出三種運作策略，固定車型環境、虛擬車型環境、動態搬運車環境，並利用系統模擬及實驗設計的技術，評估出較合適的運作策略，以作為晶圓廠規劃之參考。首先本研究針對interbay與intrabay整合後的搬運系統進行搬運行為的探討。經分析後，發現自動化物料搬運系統中的搬運車可以「區分」與「不區分」活動範圍的方式來完成任務，進一步分別針對「區分」與「不區分」活動範圍的搬運車活動型態，進行面臨問題的分析，並提出可行的搬運車運作策略。在搬運車「區分」活動範圍方面，延續吳(2001)所提出以搬運車區分”車型”的概念來區分活動範圍，除維持原先所提出之「固定車型環境」外，並進一步提出”虛擬共用”觀念的管制稱為「虛擬車型環境」。經實驗分析結果顯示，因為「虛擬車型環境」是根據系統中各車型車數的使用狀況，再指派搬運車車型，如此可以指派到較近且無任務之空搬運車，因此有較佳的搬運績效表現。在搬運車「不區分」活動範圍方面，則提出「動態搬運車環境」，此運作策略的主要重點為，(1)避免交通死鎖或壅塞，(2)是否需避免intrabay系統真空。因此提出intrabay及interbay系統”上、下限車數”的設定方式。經實驗分析結果顯示，intrabay及interbay系統上限車數分別設為”同一時間內，intrabay系統中之機台所能進行load/unload晶舟的port數量”、”interbay系統軌道區段(zone)數減1，及下限車數設為0，有較佳績效。最後將「區分」與「不區分」活動範圍之最佳運作策略，以方案評估的方式進行比較，發現因為動態搬運車環境有較彈性的派車方式，因此有較佳的績效表現。