Abstract
本文以國內某大型晶圓製造廠之自動化物料搬運系統(Automated Material Handling System, AMHS)為研究的對象，將複雜的300mm搬運環境，抽象、簡化為適合研究的案例，使用eM-Plant物件導向模擬軟體，配合UML為基之物件導向模擬模式發展程序方法論，建構一個interbay與intrabay直接整合的連接式自動化物料搬運系統，分別討論搬運車的分類、搬運車的計算、派車法則等等的搬運策略。首先，本研究針對interbay與intrabay整合的搬運系統進行搬運行為的探討，區分出不同的搬運行為。經過分析後，可發現連接式的自動化物料搬運系統存在不同搬運車型的概念，因此發展出連接式自動化物料搬運系統不同搬運車型的車數計算方法。並針對不同搬運車型所需要的派車法則進行分析與探討。由於搬運車型概念的產生，各種搬運任務可由不同的搬運車型組合完成，因此，利用反應曲面法(Response Surface Method, RSM)，在搬運績效極值化之前提下，分別討論不同搬運組合的趨勢以及優劣，並更進一步的比較不同基本搬運組合的異同。發現各種基本搬運組合各有其優劣，討論出各種搬運車組合混和後應能表現各自的優點，搬運績效應有較佳的表現。基於搬運車混和會有較佳的績效表現的假設下，利用混和型實驗(Mixture Experiment)，將不同的搬運車組合視為搬運策略的一種成分，探討連接式自動化物料搬運系統的車輛配置比例。經研究發現，連接式的自動化物料搬運系統採用各搬運車組合等比例混和的搬運策略，將會使得各搬運車組合的優點浮現，使得搬運系統的搬運績效較佳。