Abstract
本論文主要是針對舊有量測系統做改進，以期獲得較佳的量測結果，其中主要的不同是在於GEA格網上電壓的提供方式有所改變，而改以MOTECH PPS1206 POWER SUPPLY取代傳統自製的電壓輸出電路，原因是傳統電路的反應時間過長，在藉由示波器擷取數據時若因提供所需電壓變化時間過長，那麼所獲得的數據將與由power supply所送出的電壓值不符。同時傳統DC電壓的輸出是藉由橋式濾波整流電路提供，因此在電容的選取上當然是愈大其濾波效果愈佳，然而一旦加大其電容值，則又造成RC延遲時間增加，固採用現有雙輸出直流電源供應器作為替代，其中一端輸出供給電壓於Control grid上，而另一則給予二次電子排斥層電壓，也因為改採新的輸出方式因此重新撰寫Labview程式，並僅藉由GPIB介面做為電腦，示波器，及電源供應器之間的連結。在濾波方面則沿習學長舊有的設計，主要是用以濾掉因外加射頻偏壓而使得RF訊號耦合於GEA上各電極。對於在量測的結果上，在CW模式外加偏壓下可以看到高低能量峰值分開的情形。並隨著偏壓的上升，可以看到高能峰值更往右移動的現象，而加入脈衝式偏壓後，其離子能量分佈函數也因工作比例與操作頻率的調變而隨之變化。