Abstract
在傳統上，設計高品質雷射鏡的做法就是選擇兩種不同折射率的薄膜材料──一種較高，一種較低，以四分之一波長的光學厚度，先鍍高折射率者，然後，一層一層文替地鍍到基板上。但是，當層數夠多時，這種反射鏡的反射率較容易達飽和，於是有最佳配對法設計雷射鏡的產生。本文之目的即欲分別以上述之兩種方法研製雷射鏡，並加以比較。本實驗以單一離子鎗做離子束濺鍍，我們先做許多測試決定鍍膜的所有條件，然後對膜厚監控器做厚度校正，最後試鍍了十三片多層膜雷射鏡，兩種設計方法的雷射鏡均包括在內。經分析所測量的數據後，我們發現，對於以上兩種雷射鏡，無論是在厚度的設計或控制上，我們均能誤差頗小的程度。而當層數高於五層後，雷射鏡的表面粗糙度有隨著層數之增加而逐漸降低之趨勢。散射量測之結果，則顯示出最佳配對法的雷射鏡有較低之散射。但由於樣品數量有限，粗糙度及散射之結論有待大量樣品數據之確定。