Abstract
摘 要由於表面波結構陸續被應用於均勻分佈式耦合的方式激發高密度電漿，因此，本論文的研究目的在於對圓柱梳型表面波結構設計一適當的耦合方式，使2.45GHz的電磁波在此表面波結構得以以表面波的形式傳輸，且操作在π模共振點。本研究所使用的模擬分析工具為一套裝軟體—高頻結構模擬器(High Frequency Structure Simulator, 簡稱HFSS)。模擬方式為將整個結構分成三段，分別模擬，接著兩個兩個分別模擬，最後再整個接起來模擬。第一段為將矩形TE01模態轉為圓柱TM01模態的【模式轉換器】、第二段為連接圓柱梳型表面波結構和模式轉換器的【錐形梳狀圓柱】，讓模式轉換器的TM01模態得以有效耦合到圓柱梳型表面波結構、第三段為能以激發表面波形式電磁場之【圓柱梳型表面波結構共振腔】。模擬結果為模式轉換器將矩形TE01模態90%轉為圓柱TM01模態；錐形梳狀圓柱讓電磁波大部份以TM01模態輸入，以TM01模態輸出；圓柱梳型表面波結構共振腔在2.46716GHz的共振頻率下的電磁場分佈為π模共振表面波形式。最後將三段連接起來，電磁波確實在圓柱梳型表面波結構形成表面波形式電磁場分佈，但是電磁波在矩形波導的微波輸入端埠反射並沒有如所預期的小。