Abstract
Exponentially weighted moving average (EWMA) 控制器是半導體科技產業中最常被使用的製程批次控制手法。現存文獻大多只在單一機台生產單一產品的生產型態下，探討此控制器之績效表現及分析，然而目前國內 IC 產業製造廠商大多屬於單一機台生產多樣產品，或多機台生產多樣產品的混合生產型態 (mixed production run)。針對此類混合型生產型態，文獻上已有學者提出 tool-based (TB)、product-based (PB)、cycle resetting (CR) 及 modified tool-based (MTB) 控制器等。這些控制方法雖可逐步調整多產品的產出值到特定目標值，但在產品交替生產的過程中，轉換產品後之製程產出值與目標值的偏差量卻無法有效地被降低，導致製程產出值的 total mean square error (TMSE) 過大之現象。MTB 控制器雖可克服此問題，但僅針對沒有製程漂移 (drift) 現象進行探討。在製程有漂移時，MTB 控制器之績效並不理想，因此，本文建構出drifted-version MTB (簡稱 DMTB 控制器) 來處理此問題。首先，本文推導出此控制器製程產出的公式及穩定條件。接著，以模擬的方式探討 DMTB 控制器與 MTB及CR控制器之 TMSE (total mean square error) 績效分析，結果顯示 DMTB 控制器優於 MTB、CR 控制器，在比較的準則下，DMTB可分別改善製程的TMSE達10.6% 及89.9%。