次波長線性偏振片應用於光學式加速度感測器之研究

Thesis

次波長線性偏振片應用於光學式加速度感測器之研究

洪碩廷

Masters, 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所

2014

Abstract

雷射干涉微影

線性偏振片

電子束蒸鍍

出平面加速度計

Laser interference lithography

Wire-grid polarizer

E-gun evaporation

Out-of-plane accelerometer

因申請專利緣故，資料延後公開

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Details

Title: 次波長線性偏振片應用於光學式加速度感測器之研究
Translated title: 次波長線性偏振片應用於光學式加速度感測器之研究
Creators: 洪碩廷
Contributors: 傅建中 (Advisor)
Awarding Institution: 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所; Masters
Theses and Dissertations: Masters, 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所
Language: Traditional Chinese
Resource Type: Thesis
Date published: 2015