Abstract
近年來固態物理與材料之表面分析技術與設備發展極為迅速，其中，歐傑電子能譜分析(Auger Electron Spectroscopy，簡稱AES)自1960年代發展以來，到今已成為一極佳的表面分析技術，它具有下列優點：(1) 元素定量與定性分析能力。(2) 靈敏度高，對於各元素的濃度分析能力極好。(3) 非破壞性檢測。(4) 分析範圍局限於表面數層原子。(5) 使用簡易，使得其應用範圍非常廣範，包括表面物理實驗，材料分析，薄膜成長等應用科學領域。本實驗為“光電子發射實驗室(Phctoemission Lab.)”，主要在研究物質表面之各種現象，歐傑電子能電譜分析正提供了最佳的表面分析之輔助：包括定性，定量，與薄膜成長監控等。雖然一般市售的分析儀很普遍，但是基於：人才訓練，技術提升，經費考量，及往後的維護或修改的方便等因素，本實驗室決定自行製作此分析儀，而結果顯示本分析儀發揮良好的功效。本文的主題，在於整個自製歐傑電子能分析儀之介紹與測試，測試結果包含了元素定性，定量，以及與參考資料之比較。( 我們的參考手冊為perkin-Elmer公司出版的"Handbook of Auger Electron Spectroscopy") 。論文中，首先為歐傑電子產生原理的介紹，以及一般定量，定性方法的簡介。接下來為實驗設備，包括了本分析儀( 球形分析儀 )原理介紹, 以及與參考手冊使用之分析儀( 柱狀鏡面分析儀culindricalmirror analyzer)之同異比較，並討論其中產生的影響。實驗結果包括了對於實驗所得，一系列之歐傑能譜做分析－－包括了定性，定量，與解析度等。在定性方面，能譜中電子動能的位置參考手冊的資料吻合。定量方面，元素含量的偵測極限約在千分之三以下，在能量解析方面則可以鑑別出銅能譜中的徽細結構。最後是對這個實驗與本分析儀未來修正之空間，做一歸納性的探討與總結。#50008882.abs#50008882.abs