Abstract
目前步進馬達已被廣泛地應用於數位裝置及電腦週邊設備，如印表機、繪圖機、機械人手臂、磁碟機等。但在某些應用方面，步進馬達固定的步級角太大而不符要求，本論文是改進此項缺點，利用極位內差法將馬達微步，亦即將一全步分割成許多微步，提高其解析度以達到精密的位置控制。在論文中，將步進馬達一全步分成64微步，其解析度由每轉 200步提高至每轉 12800步，經過微步後的馬達，其每微步的角位移為2.8125×10-2度，此角增加非常小，以致於很難用一般的量測工具作精確的量測，所以我們改裝Michelson 雷射干涉儀來量測每微步的角位移。因為雷射具有?high intensity?high temporal coherence 的優點，所以在實驗中我們能利用此改裝的量測系統精確地量測每一微步。微步後的步進馬達，不但解析度提高了，穩定性也有改善，越過量（overshoot ）也減少了，再者，低速轉動時其轉矩（torque）也提高了。